半导体行业CMP废水解决方案

  解决方案原理

本方案属于固液分离领域，选用有机管式膜产品。在低能耗管式膜运行中，生成的沉淀和废水混合液经进水供料泵送入膜组件，通过循环泵在膜表面形成高紊乱的湍流，形成错流循环，膜出水进入产水储罐，浓缩液回流循环池。当膜污染发展到一定程度后，为减缓膜污染的发展，对膜组件进行化学强化清洗恢复膜的性能。

有机管式膜过滤工艺是一种充分利用管式膜进行高效固液分离作用的处理工艺，通过管式膜组件的高效分离作用使沉淀和水快速、彻底分离，出水水质得到强化。

  工艺流程图

  工艺优点

● 有机管式膜管径为8、10、12.5mm，流道宽，不需要复杂前处理，特别适合高固含固液分离体系；
● 有机管式膜拉断强度>300N，膜本体强度高，不会出现断裂问题，可保证生产连续稳定运行；
● 过滤精度高、盐水质量稳定，由于有机管式膜平均过滤孔径为30nm，且孔径分布窄，过滤后水中的SS可达到1mg/L以下，远远达到和超过回用水的要求；
● 有机管式膜采用多级串联方式排列，膜组件最多可串联8支，串联长度最长达到32m，另外，由于有机管式膜自身抗污染能力强，膜面流速1.5m/s即可满足设计需求，因此，系统所需循环泵的流量配置低，运行能耗低。

  案例现场